大公网讯（张玲杰）日本荏原制作所、合肥荏原精密机械有限公司，日前在合肥经开区举行合肥工厂一期竣工仪式。其合肥工厂投资总额约3亿元人民币，占地约30亩，分2期建设，项目一期主要从事干式真空泵的制造、维保服务等业务。

　　荏原制作所成立于1912年，注册金794亿日元，涉及水、风力和环境等领域的综合型企业，总部位于日本东京，全球员工已达1.7万人。合肥荏原精密机械有限公司隶属于株式会社日本荏原制作所精密电子事业公司，是一家以半导体制造设备为主的的外商独资企业。精密电子事业公司在中国的业务覆盖了中国地区的干式真空泵、CMP化学机械研磨机、电镀机、废气处理装置等产品。其干式真空泵属于全球四大厂商，CMP研磨机市场占有率全球第二，并与国内几十家半导体领先企业合作关系密切。

　　在此次竣工仪式上，合肥荏原总经理桥本表示，近年来合肥正在发展成为中国为数不多的半导体产业集聚地。在全球半导体市场需求高涨的背景下，为应对国际市场环境变化，荏原制作所不断扩充产能，在合肥积极布局，并将把合肥工厂作为未来参与中国半导体产业发展的主阵地。同时，合肥荏原也将填补合肥半导体产业链中重要的一环，配合合肥市的晶圆制造的龙头企业，共同为“芯屏汽合，集终生智”产业体系的建成完善贡献力量。

　　另据介绍，合肥经开区集成电路产业现累计落户项目56个，入驻集成电路企业67家，已初步形成设计、制造、封测、装备及材料各个环节较完整的产业链。“十四五”期间，该区将借助新能源汽车、智能家电等优势产业，重点布局第三代半导体、汽车电子等爆发式增长的战略新兴产业，促进产业链进一步完善。

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